温馨提示

（1）上机实验前必须进行实验预习，了解各个实验环节的参数设置。

（2）实验前必须通过理论知识学习，了解影响光刻质量的主要因素。

（3）实验前必须了解和掌握光刻机的操作方法。

（4）实验过程中，独立思考、认真设计实验方案，依照实验方案设定实验参数进行虚拟仿真实验。

（5）实验过程中，认真整理、总结实验数据，分析实验结果。

（6）撰写实验报告，包括实验目的、实验原理、实验步骤及实验数据、实验结果分析、改进意见等。